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污染判断

镓、砷和铟的去污染处理

发布时间:2024-04-22 发布者:

CURIUM为一个微电子生产车间的生产区进去了去污染净化操作。


该生产区的地面和一些设备受到了砷、镓和铟的污染。


作业结束后,先通过采集表面样品验证了去污染的完成,然后用FX光谱仪最后进行验证。